半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)施工要求

半導(dǎo)體特性決定其制造過(guò)程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)什么都必須嚴(yán)格控制，雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，灰塵粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等。半導(dǎo)體、電子無(wú)塵潔凈廠房有其特殊施工要求，下面無(wú)錫一凈凈化設(shè)備有限公司就其特點(diǎn)作些經(jīng)驗(yàn)交流。

首先了解下半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求，其生產(chǎn)條件除了要求恒溫恒濕外，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很?chē)?yán)，按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級(jí)。一般分為：10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、國(guó)標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子**濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度級(jí)別和控制凈化車(chē)間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類(lèi)高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國(guó)內(nèi)外還沒(méi)有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車(chē)間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造凈化車(chē)間的空氣潔凈度級(jí)別等級(jí)（如下表格）。